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接触式诊断仪器产品
最基础的等离子体参数测量手段，将探针放入等离子体中，直接测量其参数
XHINS-LP系列朗缪尔探针 (Langmuir Probes)产品
自动扫描 I–V 曲线获取核心参量；支持单/双/三探针与发射探针
XHINS-FP系列法拉第探针 (Faraday Probe)产品
测量束流密度与总电流，评估束流均匀性与发散角。
XHINS-EBP系列E×B 探针（Wien Filter）/速度选择仪
按特定荷质比与速度筛选离子，用于识别羽流组分，分析不同种类离子含量与离子能量分布(IEDF)。
阻滞能量分析仪（Retarding Potential Analyzer / Retarding Field Energy Analyzer）
测量离子能量分布与离子通量，评估等离子体加工工艺
| 探针类型 | 可测量参数 | 典型应用场景 |
|---|---|---|
| 朗缪尔探针 | ||
| 单探针 | 离子密度 ()、电子密度 ()、电子温度 ()、等离子体空间电势 ()、悬浮电势 ()、电子能量分布函数 () | 最广泛 |
| 双探针 | 电子密度 ()、电子温度 () | 大气，高密度等离子体 |
| 三探针 | 电子密度 ()、电子温度 () | 脉冲/瞬态放电、瞬态参数 |
| 发射探针 | 空间电势 () | 稀薄等离子体 |
| 其他等离子体探针 | ||
| 磁探针 | 磁场 () | 磁约束等离子体或推进器磁场构型优化 |
| 法拉第探针 | 离子束流密度 () | 离子束测试、羽流均匀性评估 |
| 粒子收集及能量分析仪 | ||
| E×B 探针 | 离子组分, 速度分布 | 推进器羽流离子组分、杂质监测 |
| 阻滞能量分析仪 (RPA / RFEA) | 离子能量分布 () | 表面处理工艺、推进器离子能谱优化 |
组合探针包
粒子羽流分析套装
核心价值：精准评估电推进器工作状态与羽流特性，是性能测试与优化的入门利器。
典型应用场景：离子电推进器或霍尔推力器的地面真空仓性能测试与羽流表征。
包含探针：法拉第探针 + RPA 各一套。
解决的核心痛点：单独法拉第探针只知流强，RPA 只知能量；组合使用才能给出完整羽流剖面，回答“打得准不准、强不强”。
- 离子电流密度空间分布（法拉第探针）：羽流角分布、推力矢量方向、束流聚焦。
- 离子能量/单位电荷能量分布（RPA）：加速电压有效性、能量利用效率、低能拖尾识别。
等离子体综合性诊断平台
核心价值：深度解析等离子体产生、加速与环境相互作用的全过程，适合机理研究与高级性能分析。
典型应用场景：新型电推进器研发、航天器相互作用研究、羽流污染评估。
包含探针：朗缪尔探针 + 法拉第探针 + RPA 各一套。
解决的核心痛点：在羽流分析套装基础上增加朗缪尔探针，诊断背景等离子体与电位分布，补齐航天器充电与侵蚀的关键信息。
- 方案一全部参数。
- 背景等离子体电子温度与密度（朗缪尔）：评估电中性程度、预测表面电位。
- 等离子体电位空间分布（朗缪尔）：理解电场分布与离子加速、电子输运机制。
粒子能量分析套装
核心价值：聚焦能量维度，对高能电子与离子进行精细化诊断。
典型应用场景：霍尔推力器非理想效应研究、高能粒子诊断、需要精确能量分布函数的前沿研究。
包含探针：RPA + EB 探针 各一套。
解决的核心痛点：RPA 聚焦离子能谱，EB 探针（电子能量分析器）给出电子能量分布函数，直指电子传输与能量损失机制。
- 离子能量分布函数（RPA）。
- 电子能量分布函数（EB 探针）：更精确的电子温度，识别高能电子群。
非接触式诊断（光学类）系统
基于自发光与光–物质相互作用进行远程测量，具备高选择性与高时空分辨。
发射光谱（OES）
粒子种类识别、密度测量，估计激发/电子温度。
激光诱导荧光（LIF）
可调谐激光选择性激发并检测荧光，密度与速度。
汤姆逊散射（Thomson Scattering）
测量电子对激光的弹性散射谱，获得温度与密度。
激光吸收光谱（LAS）
窄线宽激光扫频获取吸收谱线，实时量化特定粒子绝对密度。
| 诊断方法 | 可测量参数 | 典型应用场景 |
|---|---|---|
| 光谱与激光诊断 | ||
| 发射光谱 (OES) | 粒子种类, 激发/电子温度 | 放电均匀性监测、工艺端点检测 |
| 激光诱导荧光 (LIF) | 粒子速度分布 () | 推进器羽流速度场、推进剂混合比研究 |
| 汤姆逊散射 (Thomson) | 电子温度 (), 电子密度 () | 实验室高精度等离子体、磁约束装置诊断 |
| 激光吸收光谱 (LAS) | 特定粒子密度 (绝对值) | 材料加工过程的反应气体定量控制 |
等离子源（Ion Source）
面向实验室基础研究、电推进地面试验系统与刻蚀/材料加工线，提供稳定可控的离子束源总成，涵盖束流调节、栅极光学接口与中和器等完整配套。
XHINS-KF系列Kaufman等离子源系统
电离腔与多孔阳极，配套中和器并支持能量宽调，适合推进器地面系统与实验室束流研究。
XHINS-HS系列霍尔离子源系统（Hall Source）
E×B 漂移放电、结构紧凑，支持电推进地面寿命试验及实验室推进原型研究。
XHINS-CA系列阴极弧等离子源系统
阴极蒸发并电离，输出高电流金属离子束，覆盖材料实验与表面工程验证。
XHINS-RF系列射频等离子源系统（RF/ICP）
射频耦合、无直流电极，洁净低损伤，专用于刻蚀/清洗等工艺线及基础研究。
| 等离子源类型 | 工作原理 | 离子能量 (eV) | 适用工质 | 中和器 | 主要应用 | 典型应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| XHINS-KF系列Kaufman等离子源系统 | 热阴极 / 直流放电 | 50 – 1500 (宽可调) | Ar, Xe, N₂ (惰性/反应) | 必需 (热阴极) | 离子束溅射, 材料改性 | 实验室基础研究与电推进地面系统的束流调试，也可直接用于刻蚀/溅射工艺线 |
| XHINS-HS系列霍尔离子源系统（Hall Source） | E×B 闭环放电 | 150 – 600 (中) | Xe, Kr, Ar | 必需 (空心阴极) | 空间推进, 表面处理 | 电推进地面寿命试验与实验室推进原型研究 |
| XHINS-CA系列阴极弧等离子源系统 | 真空弧光放电 | ~50 – 200 (多价态) | 金属 (Ti, C, Cu 等) | 自中和 (等离子体) | 硬质涂层 (TiN), 薄膜沉积 | 实验室薄膜材料研究及刻蚀/镀膜生产线的高附着力涂层制备 |
| XHINS-RF系列射频等离子源系统（RF/ICP） | 感应耦合放电 | 小于100 (低) | Ar, O₂, N₂, H₂ | 可选 (栅极引出) | 半导体刻蚀, 清洗, 辅助沉积 | 晶圆刻蚀/清洗工艺以及低损伤材料实验平台 |
| XHINS-ECR系列ECR等离子源系统 | 电子回旋共振 | 10 – 2000+ (宽范围) | Ar, O₂, N₂, 多价态离子 | 可选 (栅极引出) | 多价态等离子源, 空间推进, 注入 | 基础研究装置的多价态束流、及推进/刻蚀实验中的特种离子激励 |
微推力架产品（Thrust Stand）
为小推力推进器与等离子体实验源提供可交付的推力架产品，包含结构平台、标定工具与配套测试软件，适配真空舱与长时试验。
XHINS-TTS扭摆式推力架（Torsional Thrust Stand）
高灵敏度扭摆结构，适合稳态与缓变推力测量。
XHINS-ETS电磁平衡式推力架（Electromagnetic Thrust Stand）
电磁/静电平衡架构，支持闭环控制与快速标定，覆盖 mN 级长时推力。
标定、阻尼、补偿、反馈与传感模块
配套 DAQ、处理软件与不确定度工具，面向推力架系统交付。
| 项目 | 参数 | 典型应用场景 |
|---|---|---|
| 推力架平台（Thrust Stand） | ||
| XHINS-TTS 扭摆式推力架（Torsional Thrust Stand） | 量程 1 μN – 100 mN，分辨率 < 0.5 μN | 面向无托曳推力器开发任务，适用于电喷雾等极低推力场景 |
| XHINS-ETS 电磁平衡式推力架（Electromagnetic Thrust Stand） | 量程 10 μN – 1 N，闭环负反馈抑振 | 霍尔/离子推进器长时稳态测试、脉冲推力积分 |
| 配套软硬件 | ||
| 位移/力读出模块 | 激光干涉/光栅位移 + 低噪声仪放 | 输出高频位移与净推力波形，便于后处理 |
| 自动化操作软件 | 滤波、热漂移补偿、脉冲积分、GUM 不确定度 | 形成科研级推力曲线及性能指标报告 |
| 实验环境与适配 | ||
| 真空与工质支持 | 10^-4 Pa 级真空系统，Xe/Ar/Kr 储供模块 | 推进器地面性能评估、等离子体源应用实验 |
| 安装与法兰适配 | 定制治具、接口转接、互锁联动 | 快速部署到现有真空腔或等离子体试验平台 |